सूक्ष्मप्रौद्योगिकी

सूक्ष्मप्रौद्योगिकी ऐसी प्रौद्योगिकी से सम्बन्धित है जिसकी विशेषताओं में एक माइक्रोमीटर (एक मीटर का दश लक्षतम भाग, या 10 -6 मीटर, या 1μm) के क्रम के विमाएँ हैं। Systems Engineering for Microscale and Nanoscale Technologies Darrin M. Ann Garrison Barth Janet L. 2011 CRC Press 9781439837320 Boca Raton, FL 7 यह भौतिक और रासायनिक प्रक्रियाओं के साथ-साथ एक-माइक्रोमीटर परिमाण के साथ संरचनाओं के उत्पादन या हेरफेर पर केन्द्रित है।Exploring Advanced Manufacturing Technologies https://archive.org/details/exploringadvance0000krar Krar Stephen F. Gill Arthur 2003 Industrial Press Inc. 0831131500 11–3–1 सन्दर्भ